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扩散硅压力变送器工作过程中的各种影响因素
发布时间:  2012/8/6 10:07:26

在硅膜片受压部表面的中心与附近区域中, 用杂质扩散的方法形成四片应变片, 并像图中那样构成电桥电路, 因此扩散型压力传感用具有以下特点: a . 体积小; b. 扩散型应变与硅膜片组成一体, 无迟滞和蠕变, 有良好的不乱性; c. 因为采用硅膜片使固有振动频率变高(约30kHZ 以上) ,响应性好;d. 温度特性好。当压力变送器在承受最大量程1. 2 倍的过程压力恢复后, 其全部影响小于校准量程的±0. 04 %。在工作电压范围内,电压变化1 V ,输出的全
。对频率为10~1 kHz ; 峰值为10 g (100 m/ s2 ) 的振动。当变送器安装适当和罩盖盖上时, 对射频频率为2~100 MHz 之间和场强为30 V/ m 的干扰,输出误差小于量程的0. 1 %。该变送器不受安装位置的影响,可直接任意安装。部变化小于量程的±0. 01 %。
为了准确使用该压力变送器, 需了解和把握它在工作中的各种影响因素, 使这些影响尽量在答应的范围之内。其全部影响小于量程的0. 1 %。当温度在- 20~70 ℃之间时,在每一量程档中,温度变化对压力变送器的影响是:满量程偏差为量程的±0 . 01 5 %/ ℃; 零位偏差为量程的±0. 015 %/ ℃。压力传感器提供了与输入压力成比例的模拟输出信号, 它是先将硅单晶片做成压膜片, 再对其表面进行扩散处理,形成应变片而成的。

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