被列为美国“对国家安全及繁荣有重大影响”的22项重大技术之一的传感器及信号处理技术，主要是依托微型化技术。

 MEMS是80年代中末期发达国家重点发展的领域之一，被视为21世纪广泛应用的新技术。应用MEMS技术的微型仪器仪表被称为芯片上的仪器仪表，MEMS产品包括汽车加速计，压力、化学、流量传器、微光谱仪等产品，广泛应用于环境科学、航天、生物医疗、汽车产业、军事、产业控制等领域。 美国德州仪器、罗斯蒙特、德国Karlsruhe研究中央、摩托罗拉公司等产品已广泛应用了该技术。 
     MEMS产品在国外发达国家已工业化，年增长率高达10％－20％，预计2001年MEMS产品将形成高于80亿美元的潜伏市场。

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