硅谐振式传感器是日本横河公司EJA智能变送器中的敏感元件。它是一种微型构件，体积小，功耗低，响应快，便于和信号处理部分集成。如图中所示为硅谐振式传感器中的核心部分——硅谐振梁结构。它是在一块单晶硅芯片上，采用三维表面微机械加工技术，加工成形状大小完全相同的两个H型谐振梁，一个在硅片的中央，另一个在硅片的边缘。当硅片受到压力作用时，将产生应变和应力，两个谐振梁也伴随膜片产生相应的应力。但由于它们在膜片上所处的位置不同，它们的应力是不一样的，一个受压，一个受拉，于是它们的谐振固有频率也就发生变化。利用测量两个谐振梁的频率之差，即可得到被测介质的压力或压差。
 
   硅谐振式传感器中的硅梁、规膜片、空腔被封在微型真空中，使它既不能与充灌液接触，又在振动时不受空气阻力的影响，所以用它制成的仪表性能稳定。

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